产品品牌:奥林巴斯Olympus
产品型号:BX53M
厂家公开价:面议
合测优惠价:面议
奥林巴斯OLYMPUS正置材料显微镜BX53M应用:
●半导体晶圆上的IC图案
暗场用于检测样品上的微小划痕或缺陷,或检查具有镜面的样品,例如晶圆。MIX照明使用户能够查看图案和颜色。
●LCD彩色滤光片
这种观察技术适用于透明样品,例如LCD、塑料和玻璃材料。MIX照明可以观察滤光片颜色和电路图案。
●半导体晶圆上的光刻胶残留
荧光用于在使用专门设计的滤光立方体照明时发光的样品。这用于检测污染和光刻胶残留。MIX照明可以观察光刻胶残留和IC图案。
●球墨铸铁
DIC是一种观察技术,其中样品的高度以浮雕形式显现,类似于对比度提高的3D图像;这种技术非常适合检查高度差异非常小的样品,包括金相组织和矿物。
●IC图案上的结合区
IR用于寻找IC芯片和其他由玻璃硅制成的器件内部的缺陷。
●绢云母
微分干涉对比(DIC)是一种观察技术,使用这种技术时,通常无法在明场中检测到的样品高度会以浮雕形式显现,类似于对比度提高的3D图像。这种技术非常适合检查高度差异非常小的样品,包括金相组织和矿物。
奥林巴斯OLYMPUS正置材料显微镜BX53M通用建议配置规格:
主机规格 | 显微镜机身 | 入门型 | 标准型 | 高级型 | |||
BX53MRF-S(反射) | BX53MTRF-S(反射/透射) | BX53MRF-S(反射) | BX53MTRF-S(反射/透射)
| BX53MRF-S(反射) | BX53MTRF-S(反射/透射) | ||
zui大样品高度 | 反射:65 mm(不含高度适配器),105 mm(带BX3M-ARMAD) | ||||||
反射/透射:35 mm(不含高度适配器),75 mm(带BX3M-ARMAD) | |||||||
对焦 | 行程:25 mm | ||||||
转盘每旋转一圈的行程:100 μm | |||||||
行程精度:1 μm | |||||||
配有上限限位器,用于粗调手柄的扭力调节 | |||||||
观察镜筒 宽视场(F.N.22) | U-TR30-2-2 | ||||||
倒像:三目镜筒 | |||||||
目镜(F.N.22) | WHN10 | ||||||
WHN10X-H | |||||||
物镜转换器 | U-5RE-2用于BF:五孔物镜转盘 | U-D6BDRE用于BF/DF:六孔物镜转盘 | U-D6BDRES-S用于BF/DF:六孔物镜转盘,编码 | ||||
照明:反射光/透射光 | BX3M-KMA-S 白光LED、BF/DIC/POL/MIX FS、AS(带定心机械装置)、BF/DF联锁 | BX3M-RLAS-S 编码,白光LED、BF/DF/DIC/POL/MIX FS、AS(带定心机械装置)、BF/DF联锁 | |||||
- | BX3M-LEDT 白光LED 阿贝/长工作距离聚光镜 | - | BX3M-LEDT 白光LED 阿贝/长工作距离聚光镜 | - | BX3M-LEDT 白光LED 阿贝/长工作距离聚光镜 | ||
MIX观察 | - | BX3M-CB 控制箱 BX3M-HS 手控开关 U-MIXR-2 MIX滑块,用于反射光观察 U-MIXRCBL MIXR用电缆 | |||||
聚光镜(长工作距离) | - | U-LWCD | - | U-LWCD | - | U-LWCD | |
电源线 | UYCP(x1) | UYCP(x2) | |||||
重量 | 反射:约15.8 kg(显微镜机身7.4 kg) | ||||||
反射/透射:约18.3 kg(显微镜机身7.6 kg) | |||||||
光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正) | ||||||
物镜 | MPLFLN套装 | MPLFLN5X、10X、20X、50X、100X BF/POL/FL观察 | - | ||||
MPLFLN BD套装 | - | MPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察 | |||||
MPLFLN-BD、LMPLFLN-BD套装 | - | MPLFLN5XBD、10XBD、LMPLFLN20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察 | |||||
MPLFLN-BD、MXPLFLN-BD、LMPLFLN-BD套装 | - | MPLFLN5XBD、10XBD、MXPLFLN20XBD、50XBD、LMPLFLN20XBD、50XBD、100XBD BF/DF/DIC/POL/FL观察 | |||||
载物台(X x Y) | 76 mm × 52 mm行程 | U-SVRM、U-MSSP 同轴右手柄载物台/76(X)x 52(Y)mm,带扭矩调整 | |||||
100mm x 100mm套装 | U-SIC4R2、U-MSSP4 大号同轴右手柄载物台/100(X)x 100(Y)mm,Y轴带锁定机械装置 | ||||||
100 mm × 100(G)mm行程 | U-SIC4R2、U-MSSPG 大号同轴右手柄载物台/100(X)x 100(Y)mm,Y轴带锁定机械装置(玻璃板) | ||||||
150 mm × 100 mm行程 | U-SIC64、U-SHG、U-SP64 大号同轴右手柄载物台/150(X)x 100(Y)mm,带扭矩调整,Y轴带锁定机械装置 | ||||||
150 mm × 100(G)mm行程 | U-SIC64、U-SHG、U-SPG64 大号同轴右手柄载物台/150(X)x 100(Y)mm,带扭矩调整,Y轴带锁定机械装置(玻璃板) | ||||||
选配件 | 中间镜筒 | U-CA、U-EPA2、U-TRU | |||||
聚光镜滤光片 | 43IF550-W45、U-POT | ||||||
滤光片 | U-25ND6、U-25ND25、U-25LBD、U-25LBA、U-25Y48、U-AN360-3、U-AN360P、U-PO3、U-25IF550、U-25L42、U-25、U-25FR | ||||||
标本夹 | U-HRD-4、U-HLD-4、U-HRDT-4、U-HLDT-4 | ||||||
DIC* | U-DICR | ||||||
载物台板 | U-WHP64、BH2-WHR43、BH2-WHR65、U-WHP2 | ||||||
MIX观察套装* | BX3M-CB、BX3M-HS、U-MIXR-2、U-MIXRCBL | - | |||||
手柄轴橡胶套 | U-SHG、U-SHGT |
*无法与U-5RE-2搭配使用。
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